测量长度
50 mm ... 2000 mm
死区 / 盲区
62 mm / 27 mm
分辨率
12 bit
非线性度
通常 ± 15 μm± 0.03 mm <1000 mm± 0.1 mm ≥ 1000 ... 1500 mm± 0.15 mm > 1500 mm
重复精度
<0.005 mm
滞后
通常 <6 μm
温度系数
<40 ppm / °C ; 满量程